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日本Tekhne露點(diǎn)儀：半導(dǎo)體超純氣體濕度監(jiān)測專家

更新時(shí)間：2025-08-15      瀏覽次數(shù)：51
日本Tekhne公司生產(chǎn)的露點(diǎn)儀是專門用于半導(dǎo)體超純氣體濕度監(jiān)測的高精度儀器。在半導(dǎo)體制造過程中，氣體的純度和濕度控制至關(guān)重要，因?yàn)槲⑿〉臐穸茸兓赡軙?huì)對(duì)半導(dǎo)體器件的性能和質(zhì)量產(chǎn)生嚴(yán)重影響。以下是關(guān)于日本Tekhne露點(diǎn)儀的詳細(xì)介紹：

一、產(chǎn)品概述

  • 品牌：日本Tekhne
  • 用途：用于監(jiān)測半導(dǎo)體制造過程中超純氣體的濕度，確保氣體的純度和干燥度。
  • 目標(biāo)客戶：半導(dǎo)體制造企業(yè)、電子材料供應(yīng)商、科研機(jī)構(gòu)等。

二、主要特點(diǎn)

  1. 高精度測量
    • 測量范圍：能夠測量極低的露點(diǎn)溫度，通常在-100°C至0°C之間，適用于超純氣體的濕度監(jiān)測。
    • 測量精度：露點(diǎn)溫度測量精度可達(dá)±0.1°C，確保測量結(jié)果的高可靠性。
    • 重復(fù)性：測量結(jié)果具有高重復(fù)性，確保長期穩(wěn)定的監(jiān)測效果。
  2. 快速響應(yīng)
    • 快速測量：能夠在短時(shí)間內(nèi)完成露點(diǎn)溫度的測量，快速響應(yīng)濕度變化。
    • 實(shí)時(shí)監(jiān)測：支持實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)輸出，便于用戶及時(shí)調(diào)整氣體干燥系統(tǒng)。
  3. 高穩(wěn)定性
    • 傳感器技術(shù)：采用先進(jìn)的傳感器技術(shù)，確保在惡劣環(huán)境下的穩(wěn)定性和可靠性。
    • 溫度補(bǔ)償：內(nèi)置溫度補(bǔ)償功能，確保在不同環(huán)境溫度下的測量精度。
  4. 數(shù)據(jù)管理
    • 數(shù)據(jù)記錄：設(shè)備內(nèi)置數(shù)據(jù)記錄功能，可存儲(chǔ)大量的測量數(shù)據(jù)。
    • 數(shù)據(jù)輸出：支持USB、LAN等多種數(shù)據(jù)輸出方式，方便用戶將數(shù)據(jù)導(dǎo)入計(jì)算機(jī)進(jìn)行分析。
    • 數(shù)據(jù)分析：配備專業(yè)的數(shù)據(jù)分析軟件，可對(duì)測量數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析，生成報(bào)表。
  5. 用戶友好
    • 操作簡便：配備直觀的用戶界面，操作簡便，無需復(fù)雜培訓(xùn)。
    • 校準(zhǔn)功能：設(shè)備內(nèi)置校準(zhǔn)功能，用戶可以定期進(jìn)行校準(zhǔn)，確保測量精度。

三、技術(shù)參數(shù)

  • 測量范圍：
    • 露點(diǎn)溫度：-100°C至0°C
    • 濕度范圍：1 ppmv（百萬分之一體積比）至100% RH（相對(duì)濕度）
  • 測量精度：
    • 露點(diǎn)溫度精度：±0.1°C
    • 濕度精度：±1% RH
  • 響應(yīng)時(shí)間：小于1分鐘
  • 傳感器類型：高精度露點(diǎn)傳感器
  • 數(shù)據(jù)存儲(chǔ)：內(nèi)置大容量存儲(chǔ)器，可存儲(chǔ)數(shù)月的數(shù)據(jù)
  • 數(shù)據(jù)輸出：USB、LAN、RS-232C等多種接口
  • 環(huán)境要求：
    • 溫度：-10°C至50°C
    • 濕度：0%至95% RH（無凝結(jié)）
  • 電源要求：AC 100V-240V，50/60Hz，功率約100W
  • 尺寸與重量：
    • 尺寸：約400mm（寬）×300mm（深）×200mm（高）
    • 重量：約10公斤

四、應(yīng)用領(lǐng)域

  1. 半導(dǎo)體制造
    • 晶圓制造：在晶圓制造過程中，監(jiān)測超純氣體（如氮?dú)狻鍤狻⒑獾龋┑臐穸龋_保氣體的純度和干燥度。
    • 光刻工藝：在光刻過程中，監(jiān)測光刻氣體的濕度，確保光刻工藝的精度。
  2. 電子制造
    • 電子元件制造：監(jiān)測電子元件制造過程中使用的超純氣體的濕度，確保元件的性能和可靠性。
    • PCB制造：監(jiān)測PCB制造過程中使用的氣體的濕度，確保焊接質(zhì)量和可靠性。
  3. 科研機(jī)構(gòu)
    • 材料研究：在材料研究中，監(jiān)測實(shí)驗(yàn)氣體的濕度，確保實(shí)驗(yàn)結(jié)果的準(zhǔn)確性。
    • 工藝開發(fā)：在新工藝開發(fā)過程中，監(jiān)測氣體的濕度，優(yōu)化工藝參數(shù)。

五、操作流程

  1. 開機(jī)準(zhǔn)備
    • 打開設(shè)備電源，進(jìn)行開機(jī)自檢。
    • 確保設(shè)備處于清潔狀態(tài)，檢查傳感器和測量裝置是否正常。
  2. 氣體連接
    • 將待監(jiān)測的超純氣體管道連接到露點(diǎn)儀的進(jìn)氣口。
    • 確保氣體流量穩(wěn)定，符合設(shè)備要求。
  3. 自動(dòng)測量
    • 設(shè)備自動(dòng)開始測量氣體的露點(diǎn)溫度和濕度，測量結(jié)果實(shí)時(shí)顯示在屏幕上。
    • 測量數(shù)據(jù)自動(dòng)記錄并存儲(chǔ)。
  4. 數(shù)據(jù)輸出
    • 檢測完成后，用戶可以通過USB接口或網(wǎng)絡(luò)接口將數(shù)據(jù)導(dǎo)出到計(jì)算機(jī)。
    • 使用數(shù)據(jù)分析軟件對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析，生成檢測報(bào)告。
  5. 設(shè)備維護(hù)
    • 定期對(duì)設(shè)備進(jìn)行清潔和校準(zhǔn)，確保設(shè)備的長期穩(wěn)定運(yùn)行。

六、優(yōu)勢與價(jià)值

  1. 高精度：能夠測量極低的露點(diǎn)溫度，確保超純氣體的濕度控制。
  2. 快速響應(yīng)：快速測量和實(shí)時(shí)監(jiān)測，便于及時(shí)調(diào)整氣體干燥系統(tǒng)。
  3. 高穩(wěn)定性：先進(jìn)的傳感器技術(shù)和溫度補(bǔ)償功能，確保設(shè)備在惡劣環(huán)境下的穩(wěn)定性和可靠性。
  4. 數(shù)據(jù)管理：支持?jǐn)?shù)據(jù)記錄、存儲(chǔ)和輸出，方便用戶進(jìn)行數(shù)據(jù)分析和質(zhì)量控制。
  5. 用戶友好：操作簡便，內(nèi)置校準(zhǔn)功能，確保測量精度。

七、售后服務(wù)

  • 技術(shù)支持：提供專業(yè)的技術(shù)支持，包括設(shè)備安裝、調(diào)試、培訓(xùn)和維護(hù)。
  • 保修服務(wù)：設(shè)備提供一年有限保修服務(wù)，保修期內(nèi)免費(fèi)維修和更換零部件。
  • 備件供應(yīng)：提供充足的備件供應(yīng)，確保設(shè)備的長期穩(wěn)定運(yùn)行。


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